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氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用

所屬分類(lèi)：行業(yè)資訊    發(fā)布時(shí)間： 2022-06-18    瀏覽次數(shù)：721


氦氣是理想的檢漏氣體

首先，因?yàn)楹獾?外層的電子是2，而且氦只有一層電子，..層電子是2，這意味著達(dá)到了穩(wěn)定結(jié)構(gòu)，所以氦氣的化學(xué)性質(zhì)相對(duì)來(lái)說(shuō)比較穩(wěn)定，不易發(fā)生反應(yīng)、爆炸等。在一些比較值錢(qián)的設(shè)備：例如飛機(jī)、宇宙飛船等都喜歡用氦氣作為檢漏用氣。但氦氣在自然界的儲(chǔ)量少，價(jià)錢(qián)也比較昂貴，所以為了節(jié)約成本，一些企業(yè)也就選擇氫和氮的混合氣體作為檢漏用氣，或者直接用氮?dú)庾鳛闄z漏用氣。



氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，就必須采用管殼來(lái)密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來(lái)檢測(cè)這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來(lái)檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄?，容易穿過(guò)小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，所以這種檢測(cè)方法能夠檢測(cè)出尺寸很小的小洞（即能夠檢測(cè)出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞），靈敏度可與放射性檢漏方法匹敵，但要比放射性檢漏方法簡(jiǎn)便。 氦氣檢漏試驗(yàn)的方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過(guò)小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)管殼外表所漏出的氦氣。

高純氣體管道氦氣檢漏方法


1、高純大宗氣體管道氦檢漏方法宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

2、內(nèi)向檢漏法（噴氦法）應(yīng)采用在高純氣體管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法進(jìn)行檢漏。

3、閥座檢漏法應(yīng)采用閥門(mén)上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏。

4、外向檢漏法（吸槍法）應(yīng)采用在高純氣體管道內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查可能泄漏點(diǎn)的方法檢漏。

5、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1

6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列要求：

   6.1、內(nèi)向檢漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；
   6.2、閥座檢漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；
   6.3、外向檢漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

7、氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新進(jìn)行氣密性試驗(yàn)并合格，然后應(yīng)按規(guī)定再時(shí)行氦檢漏。

8、所有可能泄漏的點(diǎn)應(yīng)用塑料袋隔離。

9、系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓鍤?，并?yīng)進(jìn)行吹掃。

10、測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。