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氬氣純化方法
對(duì)于氣體來(lái)說(shuō),純度是衡量該氣體是否優(yōu)質(zhì)的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。氬氣由于是惰性氣體,可以作為制造單晶體以及多晶體的保護(hù)氣體,為了提高硅晶體的質(zhì)量,選擇高純度的氬氣至關(guān)重要,既可以提高晶體使用壽命,還可以滿足市場(chǎng)的需求。
一般來(lái)說(shuō),氬氣純化過(guò)程是通過(guò)凈化裝置來(lái)實(shí)現(xiàn),氬氣純化方法可分為直接脫氧法和吸氣劑純化法。
直接脫氧法:使用活性金屬與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達(dá)到脫氧的目的,經(jīng)過(guò)分子篩吸附掉的氬氣中的水分子,使氬氣的含水量小于1ppm。
吸氣劑純化法:采用吸氣凈化劑或者干燥劑,吸氣劑可以與氬氣中微量雜質(zhì)形成穩(wěn)定化合物,從而達(dá)到對(duì)氬氣精制的效果,使用吸氣劑純化法提純后,純度可高達(dá)6個(gè)9的高純氬。
以上兩種就是對(duì)于氬氣純化方法的簡(jiǎn)單介紹,相比之下,吸氣劑純化法設(shè)備投資較大但提純度高,此方法目前在工業(yè)上已被廣泛使用。
氬氣“重”嗎?
重量,按人的計(jì)算就是以千克為準(zhǔn),而對(duì)于氣體來(lái)說(shuō),重量又是怎么衡量的呢?氬氣又有多“重”呢?
很多人都認(rèn)為關(guān)于氣體的重量是以密度來(lái)計(jì)算的,那其實(shí)可是大錯(cuò)特錯(cuò)了,其實(shí)關(guān)于氣體重量是由其物理性質(zhì)中的一種——相對(duì)分子質(zhì)量來(lái)決定的。相對(duì)分子質(zhì)量是其化學(xué)式中各個(gè)原子的相對(duì)原子質(zhì)量的總和,在數(shù)值上等于摩爾質(zhì)量,不過(guò)單位卻不同。
氬氣的分子量為40,而空氣的大約為28.6,因?yàn)榭諝庵袚诫s著許多混合氣體,因此其分子量也只是一個(gè)大約數(shù)。從對(duì)比可以看出來(lái),氬氣比空氣還要重,正因?yàn)楸瓤諝庵兀?dāng)發(fā)生氣體泄漏時(shí),可抬頭吸取氧氣,保證自身安全。
常見(jiàn)氣體的相對(duì)分子質(zhì)量:氫氣2,氧氣32,一氧化碳28,二氧化碳44,通過(guò)這些可以說(shuō)明,氬氣比一般常見(jiàn)氣體都要重。