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含微量產(chǎn)物砷化三氫、磷化氫或乙硼烷等的氣體,例如:氫氣、氦氣、氬氣或氮?dú)獾葰怏w,用來(lái)制造硅半導(dǎo)體。高度凈化的氨的混合物用來(lái)作滲氮用。硅烷,無(wú)論是純的還是在混合物中都可用于硅的沉積。和上述混合氣之一相似的混合氣體,若砷化三氫和磷化氫的含量高,通常用來(lái)制造稼半導(dǎo)體。
用于焊接:氧和氬的混合物,二氧化碳和氦-氮?dú)舛伎梢怨┖附邮褂谩?用于冷卻。冷凍劑例如氯代甲烷和碳氟化合物的混合氣都可用于冷卻用。 用于煙熏,溴代甲烷和乙烯氧化物都可用于煙熏。
用于電子俘獲。氬與5%甲烷的混合物可用于電子俘獲。 用作特殊控制氣體。這些氣體包括8.5%氫和氦的混合物。
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